RTS-11型金屬四探針測試儀專用于測試低阻金屬材料電阻率及方塊電阻
RTS-11型金屬四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，專用于測試金屬材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了*新電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于工廠、科研單位、高等院校對金屬材料的電阻性能測試。
RTS-11型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

RTS-11型金屬四探針測試儀

測量范圍	電阻率：10-7～10-2 Ω.cm；    方塊電阻：10-6～10-1 Ω/□；  電導率：102～107 s/cm；  電阻：10-7～10-2 Ω；
可測晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；  200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；  400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源	電流量程分為0.1A、1A、10A三檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：00.000～19.999mV；  分辨力：1μV；  輸入阻抗：＞1000MΩ；  精度：±0.5%；  顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標	間距：1±0.01mm；  針間絕緣電阻：≥1000MΩ；  機械游移率：≤0.3%；  探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；  探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數(shù)	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差(按JJG508-87進行)	0.0001Ω、0.001Ω、0.01Ω≤0.5％±1字
整機測量*大相對誤差	用標準電阻（0.0001Ω～0.01Ω）測試≤±3％
整機測量標準不確定度	≤8％
軟件功能（選配）	軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口	并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5  秒
標準使用環(huán)境	溫度：23±2℃；  相對濕度：≤65%；  無高頻干擾；  無強光直射；